Klüber Tyreno Fluid WA-70V

Klüber Tyreno Fluid WA-70V Ist ein Öl für das Grob- und Feinvakuum

Vorteile für Ihre Anwendung

– Niedrige erreichbare Enddrücke, niedere Rückströmrate
– Wasserklares Fluid für ein- und zweistufige ölgedichtete Pumpen

Beschreibung

Klüber Tyreno Fluid WA-70V ist ein paraffinbasisches Mineralöl, additiviert.

Anwendungsgebiete

Arbeitsflüssigkeit für ölgedichtete Vakuumpumpen bei universellen Anwendungen (Abpumpen von Luft, Edelgasen, aber kein Sauerstoff). Sehr gut geeignet für Dünnschichtprozesse, wie CVD/PVD und Varianten. In zweistufigen mechanischen Vorpumpen wird ein Pumpenenddruck von ca. 10–3 mbar erreicht.

Anwendungshinweise

Die Pumpen sollen vor der Befüllung mit Frischöl gespült werden. Hierbei sind insbesondere feste Rückstände zu entfernen. Das Vermischen mit Syntheseölen ist zu vermeiden.